湿电子化学品行业竞争格局及技术发展

行业历程

湿电子化学品是20世纪60年代从高纯化学试剂产品领域发展起来的。

18世纪、19世纪，世界在教学、科研和生产检验部门迫切需要一些定性、定量用分析试剂和化学反应用制剂，化学试剂的生产应运而生。随着科学技术和工农业生产的发展，化学试剂的品种和需求量逐渐增加，创立了不少专业性工厂或综合性企业，形成了独立的化学试剂工业。

20世纪50年代以后，新兴的工业如电子工业、核工业、航天工业等，新的科学技术部门如生命科学、能源科学、材料科学、信息科学、激光技术、空间技术、新型仪器分析技术、高能物理、生物工程、海洋工程等迅速发展，医疗卫生、环境保护等事业得到空前重视，都要求化学试剂工业提供成千上万个新品种，特别是高纯、特纯材料。

20世纪60年代末出现了用于集成电路制造的电子级纯专用化学试剂。而电子级高纯专用化学试剂绝大多数是应用在集成电路制造过程中光刻工艺后的去胶；以及前工序生产的清洗、刻蚀、掺杂、显影、晶圆表面处理、去膜等湿法工艺过程中，因此，一类新型的高纯化学试剂便产生，业界将它称为湿电子化学品（又称超净高纯化学品）。

20世纪80年代中期，世界市场流通的化学试剂品种已达2.5万种，能生产的品种增至5万种，总销售额超过30亿美元，其中销售量最大的是临床化学试剂、电子工业用试剂、实验试剂和制剂，发展最快的是湿电子化学品、高纯试剂、生化试剂、有机试剂等。

大规模集成电路及超大规模集成电路（ULSI）的出现，对集成电路制造用化学试剂要求更高，湿电子化学品也就在这一需求市场的变化背景下，作为一类工业化产品伴随着微电子工业的兴起而问世，并得到迅速发展。同时它也成为电子化学品产业中的一个重要门类。

随着IC存储容量逐渐增大，存储器电池的蓄电量需要尽可能增大，因此氧化膜变得更薄。湿化学品中的碱金属杂质（Na，Ca等）会溶进氧化膜中，从而导致耐绝缘电压下降。湿电子化学品中的重金属杂质（Cu，Fe，Cr，Ag等）若附着在硅晶片的表面上时，将会使P-N结的耐电压降低。杂质分子或离子的附着又是造成腐蚀或漏电等化学故障的主要原因。因此，随着微电子技术的飞速发展，对湿电子化学品的要求也越来越高，不同级别的湿化学品中的金属及非金属杂质和颗粒的含量要求各不相同，从而配套于不同线宽的IC工艺技术，即一代IC产品需要一代超净高纯试剂与之配套。

由于世界湿化学品市场的不断扩大，从事湿化学品研究与生产的厂家及机构不断增多，生产规模不断扩大，但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同。国际半导体设备与材料组织（SEMI）于年成立了SEMI化学试剂标准委员会，专门制定湿化学品的国际标准。对世界湿化学品的等级标准做了统一规范。SEMI标准现已成为世界湿化学品制造业中通用的、最权威的标准。由此世界湿化学品产品走向了更加标准化、等级规范化、高端化的发展阶段。

进入21世纪，国际SEMI标准化组织又根据湿电子化学品在世界范围内的实际发展情况对原有的分类体系进行了归并，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级。国际上制备SEMIGrade1到SEMI-Grade5各不同等级湿化学品的技术已经成熟。随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的液体化学品纯度的要求也不断提高。

近年来，湿化学品成为了超大规模集成电路（IC）制造业深入、快速发展中越来越不可缺少的、支撑其新技术发展的重要辅助工艺材料。为此，它也成为在电子化学品中近年得到需求量大幅度增加、产量与技术高速发展的一类产品。它的应用市场在近几年中还渗透到平板显示、LED、太阳能电池、光磁记录存储体产品等领域中，并且在这些新型应用领域中发展前景广阔。

尽管近几年平板显示、太阳能电池两大应用领域拉动了对湿电子化学品市场需求规模的扩大，但目前国际上湿化学品技术发展重点仍在大规模集成电路应用领域中。欧洲、美国、日本等地目前在大规模生产28nm及以下技术节点用的超净高纯湿化学品方面掌握着最先进的技术，领跑于本行业其他国家、地区的企业，同时韩国、台湾在湿化学品的制造技术、生产规模上发展迅速。另外，值得业界

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